本發(fā)明公開了一種防止探針卡燒針的方法，在對(duì)樣品進(jìn)行失效分析的測(cè)試過程中，進(jìn)行如下步驟：第1步，對(duì)樣品進(jìn)行開短路測(cè)量；第2步，進(jìn)行電源短路預(yù)測(cè)量，判斷電源短路預(yù)測(cè)量的失效情況；第3步，進(jìn)行電源短路測(cè)量，并判斷電源短路測(cè)量的失效情況；第4步，進(jìn)行上電功能測(cè)試。本發(fā)明所述的防止探針卡燒針的方法，在常規(guī)的失效分析方法中，增加電源短路預(yù)測(cè)量以及電源短路測(cè)量步驟，將有短路特征的芯片首先篩選出來，后續(xù)測(cè)試避開這些短路的芯片，能有效防止探針卡燒針。

1.一種防止探針卡燒針的方法，其特征在于：在對(duì)樣品進(jìn)行失效分析的測(cè)試過程中，進(jìn)行如下步驟：第1步，對(duì)樣品進(jìn)行開短路測(cè)量；第2步，進(jìn)行電源短路預(yù)測(cè)量，判斷電源短路預(yù)測(cè)量的失效情況；對(duì)電源短路預(yù)測(cè)量的條件包含施加條件：Vforce=Upre，判定條件：Ijudge=Ipre=Upre×Imax/Ushort；其中：在縱坐標(biāo)為電流，橫坐標(biāo)為電壓的直角坐標(biāo)系中，使用最大工作電壓Umax以及探針最大耐電流值Imax推導(dǎo)出一條短路電壓電流斜線，再取一個(gè)比最小工作電壓Umin小的電壓作為短路測(cè)量電壓Ushort，得出與短路電壓電流斜線相交點(diǎn)的電流值作為探針燒針判斷值Ishort；在當(dāng)施加短路測(cè)量電壓Ushort時(shí)電流就超過探針最大耐電流值Imax時(shí)，使用短路測(cè)量電壓Ushort以及探針最大耐電流值Imax推導(dǎo)出一條嚴(yán)重短路電壓電流斜線，施加短路預(yù)測(cè)量電壓Upre，得出與嚴(yán)重短路電壓電流斜線相交點(diǎn)的電流值作為探針燒針預(yù)檢值Ipre；第3步，進(jìn)行電源短路測(cè)量，并判斷電源短路測(cè)量的失效情況；第4步，進(jìn)行上電功能測(cè)試。2.如權(quán)利要求1所述的防止探針卡燒針的方法，其特征在于：所述第3步中，對(duì)電源短路測(cè)量的條件包含施加條件：Vforce=Ushort,判定條件：Ijudge=Ishort=Ushort×Imax/Umax。3.如權(quán)利要求1所述的防止探針卡燒針的方法，其特征在于：當(dāng)?shù)?步電源短路預(yù)測(cè)量的測(cè)試結(jié)果為失效時(shí)，則無需再進(jìn)行上電功能測(cè)試，直接判定為失效芯片，針對(duì)該芯片的測(cè)試結(jié)束；當(dāng)電源短路預(yù)測(cè)量的測(cè)量結(jié)果為正常時(shí)，則再繼續(xù)進(jìn)行下一步的電源短路測(cè)量。4.如權(quán)利要求1所述的防止探針卡燒針的方法，其特征在于：所述第3步中，當(dāng)電源短路測(cè)量的測(cè)試結(jié)果為失效時(shí)，則無需再進(jìn)行上電功能測(cè)試，直接判定為失效芯片，針對(duì)該芯片的測(cè)試結(jié)束；當(dāng)電源短路測(cè)量的測(cè)量結(jié)果為正常時(shí)，則再繼續(xù)下一步的上電進(jìn)行功能測(cè)試。