本發(fā)明屬于微納米級檢測設備技術領域，具體涉及一種雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)。支架安裝于底板上，在支架上安裝精密一維平臺，并由平臺旋鈕調節(jié)；精密一維平臺的一端連接滑塊，并在滑塊下方設置滑軌；在滑軌的兩側，分別設置一個壓電陶瓷；第一探針固定架一端安裝在支架上，另一端連接第一探針，第二探針固定架安裝在支架上，另一端連接第二探針；在支架上安裝第一反射鏡、第二反射鏡、激光器、PSD探測器和壓電陶瓷接口。所述系統(tǒng)可以實現加載、夾持以及微力與微變形的檢測，同時能完成材料和結構的拉伸、壓縮、彎曲、振動和疲勞等方式的微納米力學實驗測試，試樣尺寸可以從微米到亞微米量級，微力測量范圍為納牛到微牛量級。

1.雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)，其特征在于，由支架左部分(11)和支架右部分(10)構成的支架(2)安裝于底板(1)上，且支架左部分(11)和支架右部分(10)可分別繞其安裝軸轉動；在支架左部分(11)和支架右部分(10)之間靠近底板(1)邊緣位置安裝精密一維平臺(5)，并由平臺旋鈕(6)調節(jié)；精密一維平臺(5)的一端連接滑塊(16)，并在滑塊(16)下方設置滑軌(17)；在滑軌(17)的兩側，分別設置安裝于支架左部分(11)上的左側壓電陶瓷(13)以及安裝于支架右部分(10)上的右側壓電陶瓷(12)；“L”形的第一探針固定架(8)一端安裝在支架右部分(10)上，另一端連接第一探針(14)，第一探針固定架(8)沿著y方向調節(jié)位置，“L”形的第二探針固定架(9)安裝在支架左部分(11)上，另一端連接第二探針(15)，第二探針固定架(9)沿著x和z方向調節(jié)位置；在支架右部分(10)的側邊安裝第一反射鏡(18)和第二反射鏡(19)，在支架右部分(10)安裝精密一維平臺(5)的一側安裝激光器(3)和PSD探測器(4)，在支架左部分(11)上安裝壓電陶瓷接口(7)。2.根據權利要求1所述的雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第二探針固定架(9)上設置x方向粗調旋鈕(26)和z方向粗調旋鈕(25)，用來調節(jié)第二探針(15)的位置。3.根據權利要求1所述的雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一反射鏡(18)由第一旋鈕(20)和第二旋鈕(21)調節(jié)角度，第二反射鏡(19)由第三旋鈕(22)和第四旋鈕(23)調節(jié)角度。4.根據權利要求1所述的雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)，其特征在于，利用所述雙探針微納米力學檢測系統(tǒng)進行測量的方法包括如下步驟：1)選擇與待測試樣力學常數相當的探針作為加載和測試工具，安裝在?第一探針位置上并作為第一探針(14)；2)調整激光器(3)的功率及光線角度、通過第一旋鈕(20)和第二旋鈕(21)調整第一反射鏡(18)的角度、通過第三旋鈕(22)和第四旋鈕(23)調整第二反射鏡(19)的角度，使激光器(3)發(fā)出的光線經過第一反射鏡(18)，入射到第一探針(14)的尖端，反射光線經第二反射鏡(19)入射到PSD探測器(4)的光敏感區(qū)的中心位置；觀察程序顯示的模擬光斑在探測器上的位置，通過進一步微調第三旋鈕(22)和第四旋鈕(23)使得光斑也定位在模擬探測器靶元的中心位置；3)用一個已經標定的探針對待使用的第一探針(14)進行原位加載，通過顯微圖像實時采集系統(tǒng)記錄，并且同時記錄PSD探測器(4)上光斑位置，得到PSD探測器(4)上光斑位置與微力的對應關系；4)在高清晰顯微鏡下，用微操縱的機械手配合鎢絲針尖調整試樣的位置，并采用環(huán)氧樹脂將試樣粘接在第二探針(15)上，并將安裝第二探針(15)的第二探針固定架(9)安裝到支架左部分(11)上；在光學顯微鏡的監(jiān)視下，調整第一探針(14)的位置，使其與試樣末端對準；5)通過壓電陶瓷的驅動系統(tǒng)對右側壓電陶瓷(12)和左側壓電陶瓷(13)采用獨立加載或同時加載，分步加載或連續(xù)加載的方式施加電壓，同時通過顯微圖像實時采集系統(tǒng)記錄待測試樣的圖像，并記錄在加載過程中的PSD探測器(4)光斑位置。?