基于多功能自動四探針測試儀的樣品測試方法,該四探針測試儀包括：真空吸片承片臺、四探針組件、三軸驅動機構、攝像頭及主控計算機，四探針組件安裝于三軸驅動機構，攝像頭的拍攝方向正對真空吸片承片臺，攝像頭和四探針組件的信號輸出端與主控計算機的信號輸入端連接，三軸驅動機構的控制信號輸入端與主控計算機的控制信號輸出端連接。本發明吸片式承片臺固定破碎的硅片樣品，攝像頭拍攝硅片的位置及形狀，通過圖像進行定位，實現設備的碎片處理功能；通過對四探針三維驅動機構的控制，使得四探針探頭在承片臺上移動定位，并通過Z軸下壓驅動機構實現探針頭的自動下壓，實現自動測量。

1.基于多功能自動四探針測試儀的樣品測試方法，其特征在于：所述多功能自動四探針測試儀包括：真空吸片臺、四探針組件、驅動四探針組件的四探針探頭進行二維移動和下壓的三軸驅動機構、攝像頭及主控計算機，所述四探針組件安裝于三軸驅動機構，所述攝像頭的拍攝方向正對真空吸片臺，所述四探針組件位于真空吸片臺的上方，所述攝像頭和四探針組件的信號輸出端與主控計算機的信號輸入端連接，所述三軸驅動機構的控制信號輸入端與主控計算機的控制信號輸出端連接；所述樣品測試方法具體包括如下步驟：第一步、將樣品放置于真空吸片臺；第二步、樣品在真空設備抽氣后形成的負壓環境下，被吸附固定在真空吸片臺上；第三步、攝像頭采集樣品圖像，并傳送至主控計算機予以顯示；第四步、將顯示區域的像素點坐標與真空吸片臺坐標一一對應；第五步、用戶在屏幕上點選欲測試點，主控計算機根據像素點坐標與真空吸片臺坐標的對應關系，找到四探針探頭所要移動到達的真空吸片臺坐標；第六步、主控計算機向三軸驅動機構發送控制命令，使四探針探頭移動到樣品測試點位置；第七步、主控計算機向三軸驅動機構發送控制命令，使四探針探頭下壓，對樣品進行選擇性測試。