1.一種探針臺旋轉升降機構，其特征在于，包括升降控制裝置、旋轉控制
裝置和承片裝置；
所述升降控制裝置包括升降電機、聯軸器、升降絲杠、升降螺母、滾珠花
鍵座、滾珠花鍵升降桿，所述升降電機的轉軸和所述升降絲杠的一端通過所述
聯軸器固定連接，所述升降螺母上設有內螺紋滾道，所述升降絲杠上設有與所
述內螺紋滾道匹配的外螺紋滾道，所述升降螺母套設在所述升降絲杠上，所述
滾珠花鍵升降桿和所述升降螺母固定連接，所述滾珠花鍵升降桿遠離所述升降
電機的一端與所述承片裝置固定連接，所述滾珠花鍵升降桿安裝在所述滾珠花
鍵座的內部；
所述承片裝置固定在所述旋轉控制裝置上，所述承片裝置和所述旋轉控制
裝置作為一個整體固定在所述升降控制裝置上；
所述旋轉控制裝置包括主軸承座支架、旋轉電機、擺動軸承座、次軸承座
支架、擺動螺母座、旋轉螺母、旋轉絲杠，所述旋轉電機的轉軸與所述旋轉絲
杠的一端通過所述擺動軸承座固定連接，所述擺動軸承座安裝在所述主軸承座
支架內，所述主軸承座支架和所述承片裝置固定連接，所述旋轉絲杠的另一端
穿出所述旋轉螺母，所述旋轉螺母安裝在所述擺動螺母座上，所述擺動螺母座
安裝在所述次軸承座支架內，所述次軸承座支架和所述承片裝置固定連接。
2.根據權利要求1所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述承片裝
置包括花鍵升降桿連接板、連接組件、承片臺過渡板和承片臺，所述承片臺過
渡板和所述承片臺固定在一起，所述花鍵升降桿連接板和所述承片臺過渡板通
過所述連接組件轉動連接。
3.根據權利要求2所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述連接組
件包括交叉滾子軸承和過渡板安裝座，所述過渡板安裝座通過所述交叉滾子軸
承裝配在所述花鍵升降桿連接板上，所述過渡板安裝座和所述承片臺過渡板固
定連接。
4.根據權利要求3所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述次軸承
座支架和所述過渡板安裝座固定連接。
5.根據權利要求2所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述主軸承
座支架和所述花鍵升降桿連接板固定連接。
6.根據權利要求1所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述滾珠花
鍵升降桿為筒狀，所述升降絲杠和所述升降螺母位于所述滾珠花鍵升降桿內側。
7.根據權利要求1所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述升降控
制裝置還包括角接觸球軸承，所述角接觸球軸承套設在所述升降絲杠上且位于
所述升降螺母和所述升降電機之間。
8.根據權利要求7所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述角接觸
球軸承的數量為2個。
9.根據權利要求1所述的探針臺旋轉升降機構，其特征在于，所述升降控
制裝置還包括軸承座，所述軸承座安裝在所述滾珠花鍵座的底部，所述升降電
機固定在所述軸承座上。
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