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晶圓測試的方法和裝置

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-01-12
  • 技術成熟度:通過小試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201310370282.X 
  • 技術(專利)名稱 晶圓測試的方法和裝置 
  • 項目單位 臺灣積體電路制造股份有限公司
  • 發明人 王敏哲,彭經能,林鴻志,陳顥,李尚儒 
  • 行業類別
  • 技術成熟度 通過小試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 秦建英
  • 發布時間 2022-01-12  
  • 01

    項目簡介

    本發明提供了一種用于測試晶圓的系統,包括探針卡和晶圓。探針卡包括至少一個第一探針位和至少一個第二探針位。晶圓包括多個管芯。至少一個第一探針位被配置為用于第一測試,而至少一個第二探針位被配置為用于第二測試。多個管芯中的每一個管芯都與第一探針焊盤和第二探針焊盤相對應。至少一個第一探針位中的每一個探針位都被配置為接觸多個管芯中的每一個管芯的第一探針焊盤。至少一個第二探針位中的每一個探針位都被配置為接觸多個管芯中的每一個管芯的第二探針焊盤。本發明還公開了晶圓測試的方法和裝置。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種探針卡,包括:
    至少一個第一探針位;以及
    至少一個第二探針位;
    其中:
    所述至少一個第一探針位中的每一個都包括第一探測針,并且被配置為用于第一管芯
    的第一測試;
    所述至少一個第二探針位中的每一個都包括第二探測針,并且被配置為用于所述第一
    管芯的第二測試;以及
    所述第一探測針的覆蓋區與所述第二探測針的覆蓋區不同;
    其中,所述至少一個第一探針位中的一個第一探針位的所述第一探測針在第一時間段
    內持續接觸所述第一管芯的第一探針焊盤以在所述第一時間段內進行并完成所述第一測
    試;
    所述至少一個第一探針位中的一個第一探針位的所述第一探測針在第二時間段內持
    續接觸第二管芯的第一探針焊盤以在第二時間段內進行并完成所述第一測試,并且所述至
    少一個第二探針位中的一個第二探針位的第二探測針接觸所述第一管芯的第二探針焊盤
    以在所述第二時間段內進行所述第二測試。
    2.根據權利要求1所述的探針卡,其中,用于第一管芯的所述第一測試的所述第一探測
    針和用于所述第二測試的所述第二探測針所接觸的探針焊盤位于所述第一管芯內。
    3.根據權利要求1所述的探針卡,其中,用于第一管芯的所述第一測試的所述第一探測
    針所接觸的探針焊盤位于所述第一管芯外部。
    4.根據權利要求3所述的探針卡,其中,在所述第一時間段內進行的所述第一測試的測
    試結果被配置為對在所述第二時間段內進行的所述第二測試的測試序列和/或測試模式進
    行微調。
    5.根據權利要求1所述的探針卡,其中,所述至少一個第一探針位和所述至少一個第二
    探針位中的每一個都被配置為接觸位于晶圓級堆疊件的表面上的凸塊以進行接合后測試。
    6.根據權利要求1所述的探針卡,其中,所述至少一個第一探針位的數目等于所述至少
    一個第二探針位的數目。
    7.一種用于測試晶圓的系統,包括:
    探針卡,包括至少一個第一探針位和至少一個第二探針位;以及
    晶圓,包括多個管芯;
    其中:
    所述至少一個第一探針位被配置為用于第一測試,并且所述至少一個第二探針位被配
    置為用于與所述第一測試不同的第二測試;
    所述多個管芯中的每一個管芯都包括第一探針焊盤和第二探針焊盤;
    所述至少一個第一探針位中的每一個都被配置為接觸所述多個管芯中相應的第一探
    針焊盤;以及
    所述至少一個第二探針位中的每一個都被配置為接觸所述多個管芯中相應的第二探
    針焊盤;
    其中,所述至少一個第一探針位中的一個第一探針位在第一時間段內持續接觸所述多
    個管芯中的第一管芯的所述第一探針焊盤以在所述第一時間段內進行并完成所述第一測
    試;
    所述至少一個第一探針位中的一個第一探針位的第一探測針在第二時間段內持續接
    觸所述多個管芯中的第二管芯的第一探針焊盤以在所述第二時間段內進行并完成所述第
    一測試,并且所述至少一個第二探針位中的一個第二探針位的第二探測針接觸所述多個管
    芯中的第一管芯的第二探針焊盤以在第二時間段內進行所述第二測試。
    8.根據權利要求7所述的系統,其中,所述至少一個第一探針位的覆蓋區與所述至少一
    個第二探針位的覆蓋區不同。
    9.根據權利要求7所述的系統,其中,在所述第一時間段內進行的所述第一測試的測試
    結果被配置為對在所述第二時間段內進行的所述第二測試的測試序列和/或測試模式進行
    微調。
    10.根據權利要求7所述的系統,其中,所述第一探針焊盤的覆蓋區與所述第二探針焊
    盤的覆蓋區不同。
    11.根據權利要求7所述的系統,其中,所述多個管芯中的一個管芯的所述第一探針焊
    盤位于相應管芯的外部。
    12.根據權利要求7所述的系統,其中,所述多個管芯中的一個管芯的所述第一探針焊
    盤和所述第二探針焊盤都位于相應管芯中。
    13.根據權利要求7所述的系統,其中,所述至少一個第一探針位的數目等于所述至少
    一個第二探針位的數目。
    14.一種配置晶圓測試的方法,包括:
    通過第一組探針位中的每一個探針位在第一時間段內持續探測與第一組管芯中的管
    芯相對應的第一組探針焊盤以在所述第一時間段內進行并完成第一測試;以及
    通過所述第一組探針位中的每一個探針位在第二時間段內探測與第二組管芯中的管
    芯相對應的所述第一組探針焊盤以在所述第二時間段內進行并完成所述第一測試,并且通
    過第二組探針位中的每一個探針位探測與所述第一組管芯中的管芯相對應的第二組探針
    焊盤以在第二時間段內進行第二測試。
    15.根據權利要求14所述的方法,還包括:根據所述第一時間段內的所述第一測試的測
    試結果來微調所述第二時間段內的所述第二測試的測試序列或測試模式。
    16.根據權利要求14所述的方法,其中,所述第一組探針位中的每一個探針位的覆蓋區
    都與所述第二組探針位中的每一個探針位的覆蓋區不同。
    17.根據權利要求14所述的方法,其中,所述第一組探針焊盤中的每一個探針焊盤的覆
    蓋區都與所述第二組探針焊盤中的每一個探針焊盤的覆蓋區不同。
    18.根據權利要求14所述的方法,其中,所述第一組管芯和所述第二組管芯中的每一個
    管芯的所述第一組探針焊盤都位于相應管芯的外部。
    展開

專利技術附圖

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