采用磁驅(qū)峰值力調(diào)制原子力顯微鏡進行的多參數(shù)同步測量方法，涉及微納米尺度下材料的表面形貌、力學(xué)特性的測量技術(shù)，是為了解決傳統(tǒng)基于力位移曲線的方法中探針的驅(qū)動頻率范圍受限、以及在液體環(huán)境下整體驅(qū)動探針會干擾探針懸臂的運動，影響測量精度的問題。樣品臺內(nèi)置有線圈，探針針尖上設(shè)置有沿探針長度方向磁化或有在該方向的磁化分量的磁性顆粒。首先獲得探針自由狀態(tài)振動的PSD電壓曲線U，再獲得探針間歇接觸樣品時針尖位置的PSD電壓曲線U，由U和U獲得探針受力的電壓曲線U，根據(jù)以上各曲線獲得力?位移曲線，進而結(jié)合相應(yīng)的接觸力學(xué)模型獲得材料的力學(xué)特性。本發(fā)明探針驅(qū)動頻率范圍寬，測量精度高，適用于高分子復(fù)合材料或者生物細(xì)胞的研究。

1.采用磁驅(qū)峰值力調(diào)制原子力顯微鏡進行的多參數(shù)同步測量方法，所述磁驅(qū)峰值力調(diào)制原子力顯微鏡的探針配備有線圈，所述線圈中電流的頻率低于探針的一階共振頻率，探針的微懸臂上聯(lián)接有磁性物質(zhì)，該磁性物質(zhì)的磁化方向沿探針長度方向或者含有沿探針長度方向的分量，其特征在于，采用周期性變化的磁場驅(qū)動探針在低于其一階共振頻率以下振動，控制樣品和探針相對位置的信號是樣品受到的探針針尖作用的最大壓痕力；其特征在于，所述方法的具體步驟為：步驟一、獲得探針接近樣品時探針自由狀態(tài)振動的PSD電壓曲線U_free；步驟二、開始測量，獲得探針間歇接觸樣品時針尖位置的PSD電壓曲線U_inden；步驟三、由電壓曲線U_free和電壓曲線U_inden獲得探針受力的電壓曲線U_Force；步驟四、根據(jù)以上各曲線得到探針針尖在測量過程中的位移z_inden和針尖與樣品之間的作用力F_ts，獲得力-位移曲線，并控制探針針尖施加在樣品上的最大壓痕力，獲得表面形貌圖像；步驟五、根據(jù)力-位移曲線，結(jié)合相應(yīng)的力學(xué)模型，獲得材料最大壓痕深度圖像、最大粘附力圖像以及等效楊氏模量圖像；以上各步驟中，探針的振動方式為：采用信號發(fā)生器產(chǎn)生正弦波輸入線圈驅(qū)動器，從而驅(qū)動樣品臺(15)內(nèi)部的線圈，使該線圈產(chǎn)生與該正弦波同頻率的正弦交變磁場，探針微懸臂上的磁性顆粒在該正弦交變磁場的作用下驅(qū)動探針懸臂做與正弦交變磁場同頻率的正弦運動，所述頻率低于探針的一階共振頻率。