本發(fā)明涉及一種用于原子力顯微的探頭，所述探頭包括用于原子力顯微的探針(PT1)，所述探針朝向稱為縱向方向(y)的方向并且在所述縱向方向上從基底(S1)的邊緣(B)凸出，其特征在于，所述探針設(shè)置在往復(fù)器(PJ1)的一端，所述往復(fù)器至少經(jīng)由稱為支撐結(jié)構(gòu)的第一結(jié)構(gòu)(ET)和第二結(jié)構(gòu)(R、RA)附接至所述基底，至少所述第一支撐結(jié)構(gòu)為柔性結(jié)構(gòu)，其在垂直于所述縱向方向的稱為橫向方向(x)的方向上延伸，并且通過在所述橫向方向上的至少一個機械連結(jié)錨定至基底，所述支撐結(jié)構(gòu)適于使往復(fù)器能夠在縱向方向上移動。本發(fā)明還涉及包括至少一個這種探頭的原子力顯微鏡。

1.一種用于原子力顯微的探頭，其包括用于原子力顯微的探針(PT1)，所述探針朝向稱為縱向方向(y)的方向并且在所述縱向方向上從基底(S1)的邊緣(B)凸出，所述探針設(shè)置在往復(fù)器(PJ1)的一端，所述往復(fù)器至少經(jīng)由第一支撐結(jié)構(gòu)(ET)和第二支撐結(jié)構(gòu)附接至所述基底，所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述第二支撐結(jié)構(gòu)稱為支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：-所述支撐結(jié)構(gòu)均錨定至基底并且在所述縱向方向上在所述往復(fù)器的不同位置連結(jié)至所述往復(fù)器；-至少所述第一支撐結(jié)構(gòu)主要在垂直于所述縱向方向的稱為橫向方向(x)的方向上延伸，并且通過在所述橫向方向上的至少一個機械連結(jié)錨定至基底，縱向方向和橫向方向形成平行于基底的主表面的平面；-所述支撐結(jié)構(gòu)在縱向方向上形變，使得往復(fù)器能夠在相同的方向上位移；-所述用于原子力顯微的探頭具有整體化的結(jié)構(gòu)，至少所述往復(fù)器和所述支撐結(jié)構(gòu)在稱為裝置層的表面層(DL)上制成，所述表面層位于所述基底的表面之上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述第二支撐結(jié)構(gòu)為微機械共振器，其適合被激發(fā)從而使所述往復(fù)器在所述縱向方向上振蕩。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述微機械共振器從環(huán)形共振器以及通過至少一個機械連結(jié)錨定至基底并在所述橫向方向上定向的至少一個梁中選擇。4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述第二支撐結(jié)構(gòu)也為在所述橫向方向上延伸并通過至少一個機械連結(jié)錨定至基底的柔性結(jié)構(gòu)。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，還包括至少一個致動器，其配置為在所述縱向方向上引起所述往復(fù)器的位移，使得至少所述第一支撐結(jié)構(gòu)彎曲。6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，還包括至少一個致動器，其配置為主要在所述橫向方向上引起所述往復(fù)器的位移，使得至少一個所述支撐結(jié)構(gòu)彎曲。7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述往復(fù)器的形狀為在所述縱向方向上伸長，并且從所述基底的邊緣凸出。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述第一支撐結(jié)構(gòu)至少部分地懸吊在所述基底的邊緣上。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述第一支撐結(jié)構(gòu)經(jīng)由錨定裝置附接至基底，所述錨定裝置本身至少部分地懸吊在所述基底的邊緣上。10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，還包括至少一個導(dǎo)電軌道(LM1)，所述導(dǎo)電軌道通過穿過一個所述支撐結(jié)構(gòu)并穿過所述往復(fù)器而將設(shè)置在所述基底上的連通接觸片(PL1)連結(jié)至所述用于原子力顯微的探針。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于原子力顯微的探頭，還包括設(shè)置在支承所述導(dǎo)電軌道的支撐結(jié)構(gòu)的兩側(cè)的兩個支撐元件，所述支撐元件各自支承導(dǎo)電軌道，與穿過所述支撐元件的導(dǎo)電軌道形成平面波導(dǎo)。12.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其包括在所述縱向方向上在往復(fù)器兩側(cè)延伸的稱為側(cè)梁的兩個伸長的結(jié)構(gòu)，其中，所述往復(fù)器和所述側(cè)梁都支承形成平面波導(dǎo)的導(dǎo)電軌道。13.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，還包括在與所述用于原子力顯微的探針的方向斜交的方向上延伸到所述基底的邊緣之外的結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)支承從平面波導(dǎo)(GOP)和微流體通道(DMF)中選擇的元件。14.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其中，所述往復(fù)器在所述用于原子力顯微的探針鄰近處或所述用于原子力顯微的探針的相應(yīng)處支承電阻元件，所述電阻元件的端部連結(jié)至兩個連通接觸片，所述連通接觸片通過穿過所述第一支撐結(jié)構(gòu)并穿過所述往復(fù)器的各個導(dǎo)電軌道設(shè)置在所述基底上。15.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其包括熱-光致動器，所述熱-光致動器包含平面光導(dǎo)部(TGO)以及至少一個平面光導(dǎo)件，所述平面光導(dǎo)部剛性連接至所述往復(fù)器并在所述橫向方向上延伸，所述平面光導(dǎo)件設(shè)置在所述基底的表面上并配置為在大致縱向的方向上將光射入所述平面光導(dǎo)部。16.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其包括運動傳感器，所述運動傳感器包括平面光導(dǎo)部(TGO)以及兩個平面光導(dǎo)件，所述平面光導(dǎo)部剛性連接至所述往復(fù)器并在所述橫向方向上延伸，所述平面光導(dǎo)件設(shè)置在所述基底的表面上并且光耦合至所述光導(dǎo)部的相反端部，耦合的強度取決于光導(dǎo)部在所述縱向方向上的位置。17.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其包括運動傳感器，所述運動傳感器包括光學(xué)共振器(ROL)以及至少一個平面光導(dǎo)件(GES2)，所述光學(xué)共振器剛性連接至所述往復(fù)器，所述平面光導(dǎo)件剛性連接至基底并通過漸逝波與所述光學(xué)共振器耦合，耦合的強度取決于往復(fù)器在所述縱向方向上相對于所述平面光導(dǎo)件的位置，因此取決于光學(xué)共振器的位置。18.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的用于原子力顯微的探頭，其中，至少一個所述支撐結(jié)構(gòu)為帶有發(fā)夾形彎曲的伸長形狀。19.一種原子力顯微鏡，其包括至少一個前述權(quán)利要求中的任一項所述的探頭。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的原子力顯微鏡，還包括：-光源(SRC1)，其配置為生成光束，所述光束朝向與所述探頭的用于原子力顯微的探針相互作用的樣本的表面的區(qū)域；-系統(tǒng)(SO1)，其用于檢測所述光束通過與所述樣本的表面以及所述探針相互作用而散射的光。21.根據(jù)權(quán)利要求19和20的任一項所述的原子力顯微鏡，還包括導(dǎo)電探針(P3)，所述導(dǎo)電探針設(shè)置為與所述探頭的用于原子力顯微的探針鄰近的樣本的表面區(qū)域發(fā)生接觸。