本發明提供懸臂的振動特性測定方法以及懸臂的振動特性測定裝置，不依據Q曲線的測定條件就能夠高精度地測定掃描型探針顯微鏡的懸臂的振動特性即Q值。該懸臂的振動特性測定方法測定對掃描型探針顯微鏡(200)的懸臂(1)施加諧振頻率f1(Hz)的振動時的該懸臂的振動振幅V，求出振動振幅V成為穩定振幅V0的0.90以上時的時間Th(秒)，利用下式1來算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。

1.一種懸臂的振動特性測定方法，其中，
測定對掃描型探針顯微鏡的懸臂施加諧振頻率f1的振動時的該懸臂的振動振幅V，
求出所述振動振幅V成為穩定振幅V0的0.90以上時的時間Th，
其中，所述穩定振幅V0是設對所述懸臂施加所述諧振頻率f1的振動經過時間TA后的振
動振幅為VA，時間TA/2的振動振幅成為VA×0.95時的該振動振幅，
利用下式( 1) 來計算Q值：
Q值＝f1×Th (1)，
其中，頻率的單位是Hz，時間的單位是秒。
2.根據權利要求1所述的懸臂的振動特性測定方法，其中，
在掃掠對所述懸臂施加的頻率來測定表示該懸臂的振動振幅的Q曲線的情況下，當設
掃掠開始頻率與掃掠結束頻率的差分的絕對值為Fsw、設此時的所述Q曲線的測定時間為掃
掠時間Tsw時，通過下式( 2) ，采用已算出的掃掠時間Tsw測定所述Q曲線：
Tsw＝A×Fsw×(Q/f1)² (2)，
其中，A是正常數。
3.一種懸臂的振動特性測定裝置，其包括：
測定對掃描型探針顯微鏡的懸臂施加諧振頻率f1的振動時的該懸臂的振動振幅V的單
元，
求出所述振動振幅V成為穩定振幅V0的0.90以上時的時間Th的單元，
其中，所述穩定振幅V0是設對所述懸臂施加所述諧振頻率f1的振動經過時間TA后的振
動振幅為VA，時間TA/2的振動振幅成為VA×0.95時的該振動振幅，
利用下式( 1) 來計算Q值的單元：
Q值＝f1×Th (1)，
其中，頻率的單位是Hz，時間的單位是秒。