本發明提供了一種平面度測量的柔性裝置，本發明的平面度測量柔性裝置，借助大量探針獲取被測平面的高度信息，同時通過內置計算程序可快速計算出平面度數值，并實時顯示出來，測量較為方便，通過大數量探針獲得測量點高度值，提高了測試的準確性，同時由于柔性連接裝置可擴大縮小的特點，該裝置大小可伸縮、調節，適用范圍更廣，適合不同大小連續平面的平面度測量，屬于一種適用范圍廣泛的直接法測量平面度的裝置，精度可達到0.01mm。

1.一種平面度測量的柔性裝置，其特征在于，包括：包括柔性連接機構、探針、感應測量裝置和數據微處理器，其中，所述柔性連接機構用于固定多個探針，每個探針的一端與平面柔性機構的連接點為一個節點，每個探針的另一端與被測平面緊密接觸；所述感應測量裝置包括力學傳感器和與所述力學傳感器連接的中央處理器，力學傳感器包括在每個節點處設置的感應探頭，所述感應探頭與中央處理器電氣連接；所述數據微處理器通過電纜與所述中央處理器相連，所述數據微處理器接收所述中央處理器傳輸的數據，所述數據微處理器根據接收的所述數據計算出平面度值通過顯示器進行輸出；所述柔性連接機構實現橫向、縱向的收縮和拉長，并帶動所述探針的間距同比例收縮或延長，同時保持所有節點始終處于同一平面。2.如權利要求1所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，所述柔性連接機構的平面度為1um，同時每個節點始終處于平面度為1um的平面內。3.如權利要求1所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，所述探針為相同或不同組別個數，所述探針的組別個數包括100×80、80×60、60×40，40×20。4.如權利要求1所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，每個探針的的自由長度為10mm。5.如權利要求1所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，所述探針的直徑為0.2mm，由彈性材料制成，每個探針在壓縮范圍在0-5mm內，根據所述探針的壓縮量的不同，對應節點處承受相對應的壓縮力。6.如權利要求5所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，所述探針壓縮時，根據壓縮量的不同，產生不同的壓縮力，力學傳感器將每個節點的感應探頭感應到的所述壓縮力的大小轉化為相應的電信號，傳輸給中央處理器，中央處理器通過電纜將所述電信號輸送入數據微處理器。7.如權利要求6所述的平面度測量的柔性裝置，其特征在于，所述數據微處理器中內置平面度計算程序，所述平面度計算程序以所述中央處理器發送的表征每個探針的壓縮力的大小的電信號作為輸入，計算出被測平面的平面度，通過顯示器實時顯示平面度數值。