1.一種檢測裝置，其特征在于，
包括測試腔和交換腔，所述測試腔和交換腔之間設置有連通機構，
所述連通機構能夠使所述測試腔和所述交換腔彼此隔離或連通；
所述測試腔內和交換腔內分別設有用于傳送探針框架的傳動裝
置，所述傳動裝置能夠將所述探針框架從所述測試腔傳送至所述交換
腔或者從所述交換腔傳送至所述測試腔；
所述傳動裝置包括：傳動滾輪；所述傳動滾輪可伸縮的固定在交
換腔和測試腔的內側壁上。
2.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述交換腔的
容積小于所述測試腔的容積。
3.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述傳動裝置
包括傳動軌道，所述傳動軌道的至少一側設置有導向裝置。
4.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，
所述測試腔內設有與所述探針框架形狀相適應的支撐框架；
所述測試腔內的傳動裝置包括將所述探針框架傳送至所述支撐框
架上的傳動部。
5.根據(jù)權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述支撐框架
設有卡位裝置，以將所述探針框架固定在所述支撐框架上。
6.根據(jù)權利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，
所述探針框架上設置有與所述卡位裝置對應的鎖定裝置；
所述卡位裝置和所述鎖定裝置的接合將所述探針框架固定在所述
支撐框架上。
7.根據(jù)權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，
所述卡位裝置包括凸起，所述鎖定裝置包括與所述凸起相適應的
凹槽，所述凹槽與所述凸起的對接將所述探針框架固定在所述支撐框
架上；或者，
所述卡位裝置包括凹槽，所述鎖定裝置包括與所述凹槽相適應的
凸起，所述凹槽與所述凸起的對接將所述探針框架固定在所述支撐框
架上。
8.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，
所述測試腔內設置有可移動的信號線連接部；
所述探針框架上設有用于與所述信號線連接部相連接的信號線對
接部；
所述探針框架通過所述信號線連接部和所述信號線對接部的連接
與信號線相連接。
9.根據(jù)權利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，
所述信號線連接部包括信號線對接針，所述信號線對接部包括信
號線對接孔，所述信號線對接針與所述信號線對接孔的接合使所述信
號線連接部和所述信號線對接部相連接；
或者
所述信號線連接部包括信號線對接孔，所述信號線對接部包括信
號線對接針，所述信號線對接孔與所述信號線對接針的接合使所述信
號線連接部和所述信號線對接部相連接。
10.根據(jù)權利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，所述信號線
對接孔內壁上設有金屬彈片，用于與所述信號線對接針緊密接合。
11.一種檢測裝置的工作方法，其特征在于，包括：
將所述檢測裝置的交換腔與所述檢測裝置的測試腔相隔離；
對所述交換腔進行抽真空操作，使所述交換腔的真空度與所述測
試腔的真空度相同；
將所述交換腔與所述測試腔相連通；
將探針框架通過傳動裝置從所述測試腔傳送至所述交換腔或者從
所述交換腔傳送至所述測試腔；
所述傳動裝置包括：傳動滾輪；所述傳動滾輪可伸縮的固定在交
換腔和測試腔的內側壁上。
12.根據(jù)權利要求11所述的工作方法，其特征在于，在將所述探
針框架從所述交換腔傳送至所述測試腔后，所述工作方法還包括：
將所述探針框架鎖定在所述測試腔內的支撐框架上；
將所述探針框架與信號線相連接。
13.根據(jù)權利要求11所述的工作方法，其特征在于，在將探針框
架從所述測試腔傳送至所述交換腔前，所述工作方法還包括：
將所述探針框架與信號線斷開連接；
解除所述探針框架與所述測試腔內的支撐框架的鎖定。
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