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一種同時測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的裝置及方法

  • 專利類型:發(fā)明專利
  • 有效期:不限
  • 發(fā)布日期:2021-06-29
  • 技術(shù)成熟度:可以量產(chǎn)
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態(tài)核實
  • 簽署交易協(xié)議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(shù)(專利)類型 發(fā)明專利
  • 申請?zhí)?專利號 CN201710148301.2 
  • 技術(shù)(專利)名稱 一種同時測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的裝置及方法 
  • 項目單位 華中科技大學(xué)
  • 發(fā)明人 楊君友,侯晶迪,何煦,姜慶輝,任洋洋,辛集武,張旦,周志偉 
  • 行業(yè)類別
  • 技術(shù)成熟度 可以量產(chǎn)
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯(lián)系人 錢玉霞
  • 發(fā)布時間 2021-06-29  
  • 01

    項目簡介

    本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料測試技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種同時測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的裝置及方法,該裝置包括直行滑軌、磁鐵組、測試探針和主加熱器,直行滑軌兩端分別放置有一個磁鐵架,每個磁鐵架上各設(shè)置有一對相同磁鐵組,主加熱器設(shè)置在直行滑軌的上方,待測樣品放置在主加熱器表面的兩片陶瓷片副加熱器上,主加熱器上還設(shè)置有測試探針,電機驅(qū)動直行滑軌移動。本發(fā)明還公開了采用上述裝置測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的方法。本發(fā)明有效的解決了塞貝克系數(shù)測量中對測量形狀要求高的問題,能夠測量不同大小形狀的材料,也實現(xiàn)了在不同溫度下的霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的測量,實現(xiàn)了自動化操作,測試精度高。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種同時測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的裝置,其特征在于,其包括直行滑軌(1)、磁
    鐵組(3,21)、測試探針(11,12,13,14)和主加熱器(9),
    所述直行滑軌(1)兩端分別放置有一個磁鐵架(2,22),每個磁鐵架上各設(shè)置有一對相
    同磁鐵組,所述磁鐵組(3,21)包括兩個永久強磁鐵,所述兩個永久強磁鐵相隔一定距離以
    N-S方式相對放置,所述磁鐵組(3,21)產(chǎn)生大小相同、方向相反的磁場;
    在直行滑軌(1)的上方,設(shè)置有一個主加熱器(9),兩片陶瓷片副加熱器(8,16)相隔一
    定距離嵌在所述主加熱器(9)表面中間,待測樣品放置在兩片陶瓷片副加熱器(8,16)上,所
    述主加熱器(9)的四個對角上分別設(shè)置有探針旋鈕(10,12,15,17),所述探針旋鈕(10,12,
    15,17)將測試探針(11,12,13,14)的一端固定,用于調(diào)節(jié)測試探針(11,12,13,14)的位置,
    所述測試探針(11,12,13,14)的另一端分別位于樣品表面的四個對角上,用于測量樣品的
    冷端與熱端溫度,所述主加熱器(9)、陶瓷片副加熱器(8,16)、探針旋鈕(10,12,15,17)、測
    試探針(11,12,13,14)和樣品均置于隔熱罩(5)內(nèi),
    所述直行滑軌(1)的一端與電機(25)連接,電機驅(qū)動直行滑軌(1)移動,隨著直行滑軌
    (1)的移動,所述隔熱罩(5)中的待測樣品在兩個磁鐵組(3,21)之間運動,待測樣品所受到
    的磁場發(fā)生變化。
    2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述主加熱器(9)內(nèi)還設(shè)置有一熱電偶(6),
    用于測量主加熱器的溫度。
    3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置,其特征在于,通過所述探針旋鈕(10,12,15,17)實現(xiàn)所
    述測試探針(11,12,13,14)的左右、上下調(diào)節(jié),所述測試探針(11,12,13,14)通入電流,用于
    測量樣品邊緣的電壓或溫度。
    4.如權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述隔熱罩(5)內(nèi)充有保護氣體,且所述隔熱
    罩(5)為雙層結(jié)構(gòu)。
    5.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述兩個磁鐵組(3,21)、主加熱器(9)、陶瓷
    片副加熱器(8,16)、測試探針(11,12,13,14)和電機(25)分別與不同的控制模塊相連,通過
    電腦控制實現(xiàn)自動化運行。
    6.一種同時測量霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)的方法,其特征在于,采用如權(quán)利要求5中所述
    的測量裝置按以下步驟進行:
    S1.準(zhǔn)備待測樣品,使待測樣品的厚度大致均勻,大小對稱;
    S2.將準(zhǔn)備好的待測樣品放置在主加熱器(9)上的兩個陶瓷片副加熱器(8,16)上,并調(diào)
    節(jié)好測試探針(11,12,13,14)的位置;
    S3.將所述主加熱器(9)將環(huán)境溫度加熱到所需的溫度,在測試探針(11,12,13,14)上
    施加電流,分別在正磁場、負磁場和無磁場環(huán)境中,采用范德堡法測試相對兩個探針之間的
    電勢差;
    S4.將所述主加熱器(9)將環(huán)境溫度加熱到所需的溫度,利用所述陶瓷片副加熱器(8,
    16)給待測樣品兩端建立溫差,測量此時四個測試探針(11,12,13,14)之間的電壓差以及四
    個測試探針(11,12,13,14)的溫度值;
    S5.根據(jù)步驟S3和S4中測量得到的數(shù)據(jù),計算出待測樣品的霍爾系數(shù)和塞貝克系數(shù)。
    7.如權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,在步驟S2中,安裝待測量樣品時,先打開隔熱
    罩(5),將待測量樣品放置在兩個陶瓷片副加熱器(8,16)上,旋轉(zhuǎn)四個探針旋鈕(10,12,15,
    17),使得探針旋鈕(10,12,15,17)所對應(yīng)的四個測試探針(11,12,13,14)位于待測樣品邊
    緣,通過上下移動探針旋鈕(10,12,15,17)使得測試探針(11,12,13,14)接觸良好,然后關(guān)
    閉隔熱罩(5)。
    8.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,在步驟S3中,測量待測樣品的電勢差時具體
    包括如下步驟:
    S31.測量待測樣品的初始溫度,利用所述主加熱器(9)將環(huán)境溫度加熱到初始溫度,等
    待一定時間,使溫度穩(wěn)定;
    S32.在測試探針上施加電流,分別在正磁場、負磁場和無磁場環(huán)境中,采用范德堡法測
    試對角的兩個探針之間的電勢差;
    S33.所述主加熱器(9)將環(huán)境溫度加熱到需要測量的下一個溫度,待溫度穩(wěn)定后,進行
    下一個溫度的電勢差測量;
    S34.重復(fù)S31-S33的操作,直至完成所有指定溫度的測量。
    9.如權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于,在步驟S4中具體包括如下步驟:
    S41利用所述主加熱器(9)將環(huán)境溫度加熱到所需的溫度,待溫度穩(wěn)定;
    S42接通所述陶瓷片副加熱器(8,16),給待測樣品兩端建立溫差后即刻關(guān)閉所述陶瓷
    片副加熱器(8,16);
    S43測量四個所述測試探針(11,12,13,14)之間的電壓差以及四個測試探針(11,12,
    13,14)的溫度值。
    展開

專利技術(shù)附圖

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