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一種對RRAM器件的脈沖參數進行測試的電路

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-01-16
  • 技術成熟度:通過中試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201310491719.5 
  • 技術(專利)名稱 一種對RRAM器件的脈沖參數進行測試的電路 
  • 項目單位 中國科學院微電子研究所
  • 發明人 龍世兵,王國明,張美蕓,李陽,王明,許曉欣,劉若愚,李叢飛,劉紅濤,孫鵬霄,呂杭炳,劉琦,劉明 
  • 行業類別
  • 技術成熟度 通過中試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 楊競卓
  • 發布時間 2022-01-16  
  • 01

    項目簡介

    本發明公開了一種對RRAM器件的脈沖參數進行測試的電路,包括半導體參數分析儀、脈沖源、探針平臺和雙通道示波器,半導體參數分析儀作為控制平臺,同時連接于探針臺和脈沖源,并通過配置脈沖源參數控制脈沖源的波形;示波器是當脈沖源向待測RRAM器件發出脈沖時,捕獲脈沖圖形;示波器具有第一通道和第二通道,第一通道具有第一內阻R1,第二通道具有第二內阻R2,待測RRAM器件與示波器第二通道的第二內阻R2串聯,脈沖源與待測RRAM器件連接,示波器的第一通道并聯連接于待測RRAM器件與第二內阻R2的串聯支路。利用本發明,解決了RRAM器件在脈沖測試過程中不能限流的問題,使RRAM器件在脈沖測試時得到穩定的脈沖測試電壓,而不會因編程或擦除后影響整個電路的穩定。
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  • 02

    說明書

    1.一種對RRAM器件的脈沖參數進行測試的電路,其特征在于,該電路包括半導體參數
    分析儀、脈沖源、探針平臺和雙通道示波器,其中:
    半導體參數分析儀作為控制平臺,同時連接于探針臺和脈沖源,并通過配置脈沖源參
    數控制脈沖源的波形;
    示波器是當脈沖源向待測RRAM器件發出脈沖時,捕獲脈沖圖形;示波器具有第一通道
    和第二通道,第一通道具有第一內阻R1,第二通道具有第二內阻R2,待測RRAM器件與示波器
    第一通道的第一內阻R1串聯,脈沖源與待測RRAM器件連接,示波器的第二通道并聯連接于
    待測RRAM器件與第一內阻R1的串聯支路;
    其中,所述示波器的第一通道,選擇該通道內阻為50Ω,由于待測RRAM器件電阻遠遠大
    于50Ω,所以串聯后的電阻只考慮待測RRAM器件的電阻;或者,所述示波器的第二通道,選
    擇該通道內阻為50Ω,由于待測RRAM器件電阻遠遠大于50Ω,所以并聯后的電阻為50Ω;
    由于脈沖源內阻R為50Ω,用戶需要為脈沖源匹配一個阻值,該匹配阻值為定值;匹配
    阻值設定好之后,脈沖源內阻R需要分得一部分電壓;脈沖源經過內部計算,得出脈沖源實
    際發出的脈沖幅度。
    2.根據權利要求1所述的對RRAM器件的脈沖參數進行測試的電路,其特征在于,待測
    RRAM器件并聯示波器的內阻50Ω后,能夠將脈沖源外的阻值設置為50Ω,這樣能夠使待測
    RRAM器件在脈沖測試時,得到穩定的脈沖測試電壓,不會因編程或擦除后,RRAM阻態改變而
    影響整個電路的穩定。
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專利技術附圖

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