本發明涉及一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音叉陀螺，它包括襯底、一組以上的驅動電容、兩檢測質量塊、驅動折疊梁、框架、一組以上的檢測電容、檢測折疊梁和錨點；每組驅動電容的一側與相鄰的檢測質量塊連接，檢測質量塊通過驅動折疊梁固定連接框架，框架分別連接檢測電容和檢測折疊梁，檢測折疊梁連接固定在襯底上的錨點；每組驅動電容的另一側依次通過驅動折疊梁和框架連接到檢測折疊梁，檢測折疊梁連接固定在襯底上的錨點。本發明由于采用的驅動可動梳齒與驅動固定梳齒沿Z軸方向厚度相同、位置不同、且對稱分布，因此實現了有效地抑制從檢測模態到驅動模態的耦合，提高了陀螺的靈敏度和分辨率。本發明可以廣泛應用于各種領域中物體轉動角速度的檢測中。

1.一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音叉陀螺，其特征在于：它
包括一襯底、一組以上的驅動電容、兩檢測質量塊、驅動折疊梁、框架、一組以
上的檢測電容、檢測折疊梁和錨點；每組所述驅動電容的一側與各自相鄰的所述
檢測質量塊連接，每個所述檢測質量塊通過所述驅動折疊梁固定連接所述框架，
所述框架分別連接所述檢測電容和檢測折疊梁，所述檢測折疊梁固定連接所述錨
點，所述錨點固定在所述襯底上；每組所述驅動電容的另一側依次通過所述驅動
折疊梁和框架連接到所述檢測折疊梁；
每組所述驅動電容包括驅動可動梳齒、驅動固定梳齒和驅動固定梳齒錨點，
一側所述驅動可動梳齒連接所述檢測質量塊，另一側所述驅動可動梳齒通過所述
驅動折疊梁連接到所述框架，所述驅動可動梳齒和驅動折疊梁分別相對于陀螺X
軸、Y軸對稱分布；所述驅動固定梳齒連接各自對應的所述固定梳齒錨點，所述固
定梳齒錨點固定在所述襯底上；所述驅動可動梳齒與所述驅動固定梳齒沿Z軸方
向的厚度相同，相對于Z軸的位置相異，且分布相對于Z軸和X軸對稱；
每組所述檢測電容包括檢測可動梳齒、檢測固定梳齒和檢測固定梳齒錨點，
所述檢測可動梳齒通過所述框架連接所述驅動折疊梁，所述檢測固定梳齒固定連
接固定在所述襯底上的所述檢測固定梳齒錨點；每組所述驅動電容位于陀螺的中
心位置，置于檢測軸Y軸附近，且呈對稱分布；每組所述檢測電容位于陀螺兩邊
的最外側，且相對于敏感軸對稱分布。
2.如權利要求1所述的一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音叉陀
螺，其特征在于：每組所述檢測電容采用開環檢測和閉環檢測其中之一。
3.如權利要求1或2所述的一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音
叉陀螺，其特征在于：所述襯底采用硅、氧化硅和玻璃材料其中之一制作；每組
所述驅動電容、兩檢測質量塊、驅動折疊梁、框架、每組檢測電容和檢測折疊梁
采用硅和鈦其中之一材料制作。
4.如權利要求1或2所述的一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音
叉陀螺，其特征在于：所述驅動折疊梁和檢測折疊梁的結構是彎曲變形梁、扭轉
變形梁和彎扭組合梁其中之一。
5.如權利要求3所述的一種采用靜電平衡梳齒驅動器的水平軸微機械音叉陀
螺，其特征在于：所述驅動折疊梁和檢測折疊梁的結構是彎曲變形梁、扭轉變形
梁和彎扭組合梁其中之一。