本發(fā)明提供一種適合地進(jìn)行圖案光的對(duì)焦的技術(shù)。圖案曝光裝置(10)包括：曝光頭(82)，其用于向基板W的感光材料面輸出圖案光；測(cè)量器(84)，其用于測(cè)量基板W的位置；以及聚焦控制部(902)，其根據(jù)基板W的感光材料面的位置，對(duì)圖案光的成像位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。曝光頭(82)具有透鏡移動(dòng)部(828)，其用于使第一成像光學(xué)系統(tǒng)(822)的第二透鏡(12L)和微透鏡陣列(824)在接近或遠(yuǎn)離第一透鏡(10L)的方向上進(jìn)行移動(dòng)。

1.一種圖案曝光裝置，其包括：保持部，用于保持感光材料；曝光頭，用于向所述感光材料輸出圖案光；測(cè)量部，用于測(cè)量被所述保持部保持的所述感光材料的位置；以及聚焦控制部，根據(jù)所述感光材料的位置，對(duì)所述圖案光的成像位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，其中，所述曝光頭具備：空間光調(diào)制器，所述空間光調(diào)制器具有多個(gè)調(diào)制元件，所述多個(gè)調(diào)制元件對(duì)從光源輸出的光進(jìn)行空間光調(diào)制而形成圖案光；第一成像光學(xué)系統(tǒng)，具有第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和所述第二透鏡配置在從所述空間光調(diào)制器輸出的圖案光的光路上，所述第二透鏡為像側(cè)遠(yuǎn)心型；微透鏡陣列，所述微透鏡陣列具有多個(gè)微透鏡，所述多個(gè)微透鏡對(duì)穿過(guò)所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)的所述第二透鏡的所述圖案光進(jìn)行聚焦；第二成像光學(xué)系統(tǒng)，配置在穿過(guò)所述微透鏡陣列的所述圖案光的光路上，使所述圖案光進(jìn)行成像；以及透鏡移動(dòng)部，用于使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列在接近或遠(yuǎn)離所述第一透鏡的方向上進(jìn)行移動(dòng)，所述聚焦控制部通過(guò)控制所述透鏡移動(dòng)部的動(dòng)作來(lái)調(diào)節(jié)所述圖案光的所述成像位置，所述第二透鏡和所述微透鏡陣列固定在所述透鏡移動(dòng)部上，所述透鏡移動(dòng)部 使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列一體地移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案曝光裝置，其中，所述第二成像光學(xué)系統(tǒng)是兩側(cè)遠(yuǎn)心型。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖案曝光裝置，其中，所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)是以大于一倍的橫向放大倍率進(jìn)行成像的放大光學(xué)系統(tǒng)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖案曝光裝置，其還包括曝光頭支撐部，所述曝光頭支撐部以將多個(gè)所述曝光頭排列的狀態(tài)支撐多個(gè)所述曝光頭。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖案曝光裝置，其中，所述第二成像光學(xué)系統(tǒng)是以大于第一成像光學(xué)系統(tǒng)的橫向放大倍率的橫向放大倍率進(jìn)行成像的放大光學(xué)系統(tǒng)。6.一種曝光頭，其為用于輸出圖案光的曝光頭，其包括：空間光調(diào)制器，所述空間光調(diào)制器具有多個(gè)調(diào)制元件，所述多個(gè)調(diào)制元件對(duì)從光源輸出的光進(jìn)行空間光調(diào)制而形成圖案光；第一成像光學(xué)系統(tǒng)，具有第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和所述第二透鏡配置在從所述空間光調(diào)制器輸出的圖案光的光路上，所述第二透鏡是像側(cè)遠(yuǎn)心型；微透鏡陣列，所述微透鏡陣列具有多個(gè)微透鏡，所述多個(gè)微透鏡對(duì)穿過(guò)所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)的所述第二透鏡的所述圖案光進(jìn)行聚焦；兩側(cè)遠(yuǎn)心型第二成像光學(xué)系統(tǒng)，配置在穿過(guò)所述微透鏡陣列的所述圖案光的光路上，使所述圖案光進(jìn)行成像；以及透鏡移動(dòng)部，用于使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列在接近或遠(yuǎn)離所述第一透鏡的方向上進(jìn)行移動(dòng)，所述第二透鏡和所述微透鏡陣列固定在所述透鏡移動(dòng)部上，所述透鏡移動(dòng)部 使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列一體地移動(dòng)。7.一種圖案曝光方法，其包括：用于保持感光材料的(a)工序；向所述感光材料輸出圖案光的(b)工序；用于測(cè)量所述感光材料的位置的(c)工序；以及根據(jù)所述(c)工序中測(cè)量的所述感光材料的位置，對(duì)所述(b)工序中的所述圖案光的成像位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的(d)工序，所述(b)工序包括：通過(guò)多個(gè)調(diào)制元件來(lái)對(duì)從光源輸出的光進(jìn)行空間光調(diào)制而形成所述圖案光的(b-1)工序；通過(guò)第一成像光學(xué)系統(tǒng)使所述圖案光進(jìn)行成像的(b-2)工序，所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)包括配置在所述圖案光的光路上的第一透鏡和第二透鏡，并且所述第二透鏡是像側(cè)遠(yuǎn)心型；通過(guò)具有多個(gè)微透鏡的微透鏡陣列對(duì)所述(b-2)工序中的從所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)的所述第二透鏡輸出的所述圖案光進(jìn)行聚焦的(b-3)工序；以及通過(guò)第二成像光學(xué)系統(tǒng)使所述(b-3)工序中的穿過(guò)所述微透鏡陣列的所述圖案光進(jìn)行成像的(b-4)工序，所述(d)工序包括：使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列在接近或遠(yuǎn)離所述第一透鏡的方向上進(jìn)行移動(dòng)的(d-1)工序，所述第二透鏡和所述微透鏡陣列固定在透鏡移動(dòng)部上，所述透鏡移動(dòng)部 使所述第二透鏡和所述微透鏡陣列一體地移動(dòng)。