本公開涉及電容測(cè)量。本發(fā)明的實(shí)施方案可以提供測(cè)量器件的未知電容的方法。該方法可包括如下步驟：向包括由具有未知電容的器件和基準(zhǔn)電容器形成的分流器的電路系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)測(cè)試信號(hào)；將所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的電流鏡像到包括測(cè)量阻抗的第二電路系統(tǒng)；測(cè)量第二電路系統(tǒng)內(nèi)的電壓；以及參考基準(zhǔn)電容器的電容和測(cè)量阻抗，基于測(cè)得的電壓來(lái)驅(qū)動(dòng)未知電容的電容。

1.一種用于測(cè)量電容器件的電容的方法，包括：通過(guò)第一電流源向包括由電容器件和基準(zhǔn)電容器形成的分流器的第一電路系統(tǒng)施加第一電流；將所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的第二電流鏡像到包括測(cè)量阻抗的第二電路系統(tǒng)；測(cè)量跨所述測(cè)量阻抗生成的電壓；以及基于測(cè)得的電壓以及基準(zhǔn)電容器的電容值以及測(cè)量阻抗的阻抗值來(lái)取得所述電容器件的電容。2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述鏡像以相對(duì)于所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的第二電流的單一增益在所述第二電路系統(tǒng)中產(chǎn)生第三電流。3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述鏡像在所述第二電路系統(tǒng)中產(chǎn)生相對(duì)于所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的第二電流而標(biāo)定的第三電流。4.如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括數(shù)字化所述測(cè)得的電壓。5.如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：驅(qū)動(dòng)第四電流；以及將所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的第二電流和所述第四電流合并在一起，其中在所述基準(zhǔn)電容器中產(chǎn)生的第二電流和所述第四電流反向地對(duì)齊并且所述鏡像將合并的電流鏡像。6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述電容器件是電容執(zhí)行器，并且所述方法進(jìn)一步包括根據(jù)取得的電容器件的電容來(lái)估計(jì)所述電容執(zhí)行器的位置。7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述電容器件是電容執(zhí)行器，并且所述方法進(jìn)一步包括基于取得的電容器件的電容來(lái)校正所述電容執(zhí)行器的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。8.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述測(cè)量阻抗是電容器。9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述電容器件是電容執(zhí)行器，并且所述方法進(jìn)一步包括：在驅(qū)動(dòng)階段和測(cè)量階段中迭代地驅(qū)動(dòng)所述電容執(zhí)行器，其中在所述驅(qū)動(dòng)階段期間，根據(jù)所述電容執(zhí)行器的期望位置來(lái)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并且在所述測(cè)量階段期間，執(zhí)行施加第一電流、鏡像、測(cè)量和取得步驟；以及基于取得的所述電容器件的電容來(lái)校正用于后續(xù)迭代的電容執(zhí)行器的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。10.一種用于測(cè)量電容器件的電容的集成電路，包括：與輸出端子耦合的第一電流源，配置為連接到電容器件并且供給第一電流；電流鏡，具有第一電流路徑和第二電流路徑；基準(zhǔn)電容器，與所述輸出端子和第一電流路徑耦合；耦合到第二電流路徑的測(cè)量阻抗；以及模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器，具有與所述第二電流路徑內(nèi)的節(jié)點(diǎn)耦合的輸入并且配置為測(cè)量該節(jié)點(diǎn)處的電壓。11.如權(quán)利要求10所述的集成電路，進(jìn)一步包括耦合到所述基準(zhǔn)電容器與所述第一電流路徑之間的節(jié)點(diǎn)的第二電流源，其中所述第二電流源的大小被確定為供給超過(guò)來(lái)自所述第一電流源的第一電流的第二電流，其中所述第一電流源被定向成將來(lái)自所述基準(zhǔn)電容器的電流漏出。12.如權(quán)利要求10所述的集成電路，其中所述電流鏡的晶體管具有相等的尺寸。13.如權(quán)利要求10所述的集成電路，其中所述電流鏡的晶體管具有非相等尺寸。14.如權(quán)利要求10所述的集成電路，其中所述電容器件是電容執(zhí)行器，所述集成電路進(jìn)一步包括在驅(qū)動(dòng)模式與測(cè)量模式之間迭代地驅(qū)動(dòng)所述第一電流源的控制器，其中：在所述驅(qū)動(dòng)模式期間，所述控制器以由表示電容執(zhí)行器的位置的位置信號(hào)確定的設(shè)定驅(qū)動(dòng)所述第一電流，以及在所述測(cè)量模式期間，所述控制器基于由所述模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器輸出的值來(lái)產(chǎn)生用于下一迭代的校正信號(hào)。15.如權(quán)利要求14所述的集成電路，其中，在所述驅(qū)動(dòng)模式下，所述控制器改變所述第一電流源的激活的持續(xù)時(shí)間。16.如權(quán)利要求14所述的集成電路，其中從一次迭代到另一次迭代，所述控制器使從所述第一電流源輸出的信號(hào)的開端抖動(dòng)。17.如權(quán)利要求14所述的集成電路，進(jìn)一步包括測(cè)量所述電容執(zhí)行器的電壓的測(cè)量電路。18.如權(quán)利要求17所述的集成電路，進(jìn)一步包括用于查找表的存儲(chǔ)設(shè)備，所述查找表將位置信號(hào)的值和所述測(cè)量電路測(cè)得的電壓的值與驅(qū)動(dòng)電流設(shè)定相關(guān)聯(lián)。19.如權(quán)利要求18所述的集成電路，其中所述存儲(chǔ)設(shè)備包括按表示作用于所述電容執(zhí)行器上的重力的值所索引的子表。20.如權(quán)利要求14所述的集成電路，其中所述控制器至少部分地基于表示作用于所述電容執(zhí)行器上的重力的值來(lái)取得驅(qū)動(dòng)電流設(shè)定。