本發(fā)明屬于電學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種超快瞬態(tài)電學(xué)響應(yīng)信號的雙探頭低噪聲測試方法。本發(fā)明使用兩個相同型號的電壓測試探頭分別測量待測器件的兩個電極；每個電壓探頭與待測器件的兩個電極通過固定裝置固定相對位置；從而精確測得器件對脈沖激勵信號的快速電流或電壓響應(yīng)。傳統(tǒng)的單探頭測量方法中若使用更靈敏的（高帶寬、采樣率）示波器和探頭，則會引入高頻噪聲信號，從而嚴(yán)重影響測量結(jié)果的質(zhì)量。本發(fā)明的方法則可以避免這一問題，因而允許以更高的帶寬和采樣率測量器件的電流或電壓響應(yīng)。

1.一種超快瞬態(tài)電學(xué)響應(yīng)信號的雙探頭低噪聲測試方法，其特征在于使用兩個相同型
號的電壓測試探頭分別測量待測器件的兩個電極；每個電壓探頭與待測器件的兩個電極通
過固定裝置固定相對位置；從而快速測得器件對脈沖激勵信號的電流或電壓響應(yīng)；其中：
用高導(dǎo)電導(dǎo)體屏蔽待測器件的兩個電極，待測器件的電極和屏蔽導(dǎo)體之間應(yīng)使用絕緣
體分隔開；屏蔽導(dǎo)體接地；電壓測試探頭的接地端通過接地柱以最短的路徑連接到屏蔽導(dǎo)
體上；兩個探頭的接地柱的形狀保持一致；
若測量器件的電壓信號響應(yīng)，則無需進(jìn)行更多電路連接的步驟；若測量器件的電流信
號響應(yīng)，則將一個小于待測器件輸出電阻的電阻的兩個電極分別連接到兩個探頭的測試端
上；
（1）測試時，將脈沖激勵信號產(chǎn)生裝置與示波器之間以合適的方式進(jìn)行同步，確保能夠
在激勵信號發(fā)生的時間點開始進(jìn)行電壓信號采集；
（2）打開脈沖激勵信號產(chǎn)生裝置生成激勵信號，以合適的方式避免該信號作用到待測
器件上，同時記錄示波器測量到的電壓信號；若測量結(jié)果噪聲較大，則進(jìn)行多次測量取平均
值，記為背景信號；
（3）允許激勵信號作用到待測器件上，同時記錄示波器測量到的電壓信號；若測量結(jié)果
噪聲較大，則進(jìn)行多次測量取平均值，記為激勵信號；
（4）計算激勵信號與背景信號之間的差值，所得結(jié)果即為最終測量結(jié)果，即器件對脈沖
激勵信號的響應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超快瞬態(tài)電學(xué)響應(yīng)信號的雙探頭低噪聲測試方法，其特征在
于用于固定電壓測試探頭與待測器件的兩個電極相對位置的所述固定裝置，其結(jié)構(gòu)包括：
導(dǎo)體底座、接地導(dǎo)體、絕緣層、接地柱、夾具、固定螺栓；其中，接地導(dǎo)體與導(dǎo)體底座直接連
通，用于屏蔽電磁干擾；待測器件的電極以一絕緣層與接地導(dǎo)體和導(dǎo)體底座隔開；絕緣層以
及接地導(dǎo)體留有測試孔，可供測試探頭尖端伸入，與電極樣品接觸；夾具設(shè)在導(dǎo)體底座上
方，用于夾持測試探頭，導(dǎo)體底座與夾具之間由固定螺栓固定；接地柱位于接地導(dǎo)體上，方
便與測試探頭的接地端連接。